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萊伯泰科出席半導體檢測培訓班,技術報告聚焦國產(chǎn)質(zhì)譜受矚目

更新時間:2025-11-06      點擊次數(shù):947
導讀

10月28日至31日,由中國科學院人事局資助、中國科學院上海硅酸鹽研究所主辦的第二屆“半導體材料與器件量測和檢測技術"培訓班在上海成功舉辦。本屆培訓班匯聚了來自全國的科研院所、高校和企事業(yè)單位的半導體領域?qū)<遗c科研人員。萊伯泰科作為被邀請參會的國產(chǎn)高端科學儀器代表企業(yè),攜自主研發(fā)的LabMS5000電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀亮相會場,并分享了國產(chǎn)質(zhì)譜技術在半導體領域的新應用進展及成果。

萊伯泰科出席半導體檢測培訓班,技術報告聚焦國產(chǎn)質(zhì)譜受矚目
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會上,萊伯泰科質(zhì)譜事業(yè)部ICP-MS產(chǎn)品經(jīng)理陳磊在培訓班上作了題為《國產(chǎn)ICP-MS/MS檢測濕電子化學品的新應用進展》的專題報告。在集成電路的制造過程中,濕電子化學品扮演著至關重要的角色,它們不僅是制造工藝的“血液",更是確保產(chǎn)品質(zhì)量與性能的關鍵因素。陳磊經(jīng)理詳細介紹了公司自主研發(fā)的LabMS 5000質(zhì)譜儀在半導體濕電子化學品檢測中的技術突破,該儀器憑借高靈敏度、低檢測限及優(yōu)異的抗干擾能力,可精準檢測濕電子化學品中痕量金屬雜質(zhì),為半導體工藝質(zhì)量控制提供可靠數(shù)據(jù)支撐。

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展會現(xiàn)場,萊伯泰科展出的LabMS5000引發(fā)廣泛關注。LabMS 5000作為國內(nèi)首款通過國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會SEMI S2認證的電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀,其檢測精下限達到ppt級及亞ppt級,可滿足先進制程工藝對痕量元素分析的嚴苛要求。該產(chǎn)品的成功研發(fā),不僅打破了進口設備長期壟斷的局面,更為國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控提供了關鍵檢測裝備支撐。

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公司董事長胡克博士曾在近期行業(yè)會議上指出,國產(chǎn)科學儀器要實現(xiàn)從“配角"到“主角"的轉(zhuǎn)變,必須突破技術壁壘、深耕應用場景、加強產(chǎn)業(yè)生態(tài)協(xié)同。萊伯泰科正是憑借“場景驅(qū)動創(chuàng)新"的戰(zhàn)略,圍繞半導體材料在線檢測等新興領域,開發(fā)高度適配本土需求的定制化儀器設備。

目前,萊伯泰科已與多家半導體龍頭企業(yè)建立深度合作,為提升國產(chǎn)半導體材料質(zhì)量管控水平提供了重要技術保障。公司負責人表示,未來將持續(xù)聚焦半導體產(chǎn)業(yè)鏈檢測需求,加速推進高端科學儀器國產(chǎn)化進程,助力中國半導體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

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